真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。
真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空,有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級(jí)泵,故都需要把泵組合起來使用。真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí),應(yīng)該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達(dá)到清潔真空要求。
真空泵應(yīng)安裝在地面結(jié)實(shí)堅(jiān)固的場(chǎng)所,周圍應(yīng)留有充分的余地,便于檢查、維護(hù)、保養(yǎng)。真空泵底座下應(yīng)保持地基水平,底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝,確保真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),振動(dòng)小。
真空泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠,對(duì)小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠,對(duì)小真空泵可采用真空膠管連接,管道管徑不得小于真空泵吸氣口徑,且要求管路短而少?gòu)濐^。(焊接管路時(shí)應(yīng)清除管道中焊渣,嚴(yán)禁焊渣進(jìn)入真空泵腔。)
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